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化学反应工程与工艺
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溶胶晶种法合成纳米高硅Beta分子筛及其对挥发性有机物的吸附特性
刘春彤1,赵晓慧2,陈海军1
1.南开大学电子信息与光学工程学院,天津 300350
2.中芯国际集成电路制造(天津)有限公司,天津 300385
Seeded Synthesis of Siliceous Beta Zeolite Nanocrystals and Their Performance in Volatile-Organic-Compounds Adsorption
LIU Chuntong1, ZHAO Xiaohui2, CHEN Haijun1
1. College of Electronic Information and Optical Engineering, Nankai University, Tianjin 300350, China; 
2. Semiconductor Manufacturing International Corporation (Tian Jin), Tianjin 300385, China
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