2022, Vol. 38(3): 201-209    DOI:
溶胶晶种法合成纳米高硅Beta分子筛及其对挥发性有机物的吸附特性
刘春彤1，赵晓慧2，陈海军1
1.南开大学电子信息与光学工程学院，天津 300350；
2.中芯国际集成电路制造（天津）有限公司，天津 300385
收稿日期 2021-12-17  修回日期 2022-02-24
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