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化学反应工程与工艺
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氢还原后三氯氢硅的杂质控制
1.昆明冶研新材料股份有限公司,云南 曲靖 655000;
2.云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室,云南 曲靖 655000
Impurity Control of Trichlorosilane after Hydrogen Reduction
1. Kunming Yeyan New-Material Company Limited, Qujing 655000, China;
2. Key Lab of Yunnan Province Optoelectronic Silicon Materials Preparation Technology Enterprises, Qujing 655000, China
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