2026, Vol. 42(2): 106-114    DOI:
硅烷流化床多晶硅沉积的CFD模拟与工艺优化
李连平，梁 波，李 银，左昭贵
青海南玻新能源科技有限公司，青海 德令哈 817000
收稿日期 2025-08-15  修回日期 2026-01-20
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