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化学反应工程与工艺
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粒状多晶硅制备的内循环流化床反应器研究
清华大学化学工程系,绿色反应工程与工艺北京市重点实验室,北京 100084
Study on Internal Circulation Fluidized Bed Reactor for Preparing Polysilicon Granules
Beijing Key Laboratory of Green Reaction Engineering and Technology, Department of Chemical Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China
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